路透:上海愛晟納主導中國DUV光刻機生產
路透引述消報道,上海愛晟納電子科技集團在主導中國國產浸沒式深紫外(DUV)光刻機的生產。但報道同時引述消息指,愛晟納的DUV光刻機預計還需要進一步測試,並且與ASML的同類產品「仍有較大差距」。該公司已吸納了來自光刻初創公司宇量昇、上海微電子裝備的團隊;宇量昇去年已開始測試DUV原型機。
Last Update:
28 7 月, 2026
